傾角調整装置OSPシリーズ
本装置は、光PickupのACTの傾角調整機であり、特に、空中あおり調整用に開発された装置です。 検出光学系は高倍率と、中倍率(or低倍率を選択)を同時にMonitorすることが可能です。
高倍率検出系には二値化Unitを装備し、傾角調整を可能にしています。 中倍率光学系は光Pickupにおけるグレーティング調整と、目視による初期のSPOT像位置検出に使用します。 低倍光学系は初期のSPOT像位置検出に使用します。
SPOT像の位置検出にXY-ServoとFocus-Servoを装備し、傾角調整時の外乱による像の位置ずれを減少させて効率の良い作業を支援します。
また、XYステージを2基搭載し、接着硬化後のSPOT像評価も可能にしています。 計測Softwareを使用して、SPOT像の傾角調整・グレーティング調整することが可能です。
傾角調整装置OSPシリーズ
■傾角調整装置機能
@Beamspot Profile計測
Beamspot Size(XY)/Spot輝度/Profile波形
ASpot位置計測
Beamspot像のズレ量
B収差計測
COMA収差(1次光の輝度の偏りの方向と量)/非点収差/球面収差/複合
■傾角調整装置仕様
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OSP-403 |
OSP-405 |
OSP-414 |
OSP-424 |
OSP-450 |
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調整用Actuator |
空中Type |
- |
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用途 |
DVD 録画、再生用 |
Blu-ray 再生用 |
Blu-ray 用対物Lens |
Blu-ray 用対物Lens
DVD用対物Lens
CD用対物Lens |
Blu-ray録画、
再生用 |
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対物Lens 倍率 |
50倍 |
100倍 |
|
|
100倍 |
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対物Lens NA |
0.8 |
0.95 |
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0.95 |
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Cover Glass |
0.6mm |
0.0875mm |
赤外:1.2mm 赤:0.6mm
青:0.0875mm |
0.0875mm |
★ |
高倍率検出部 倍率 |
250倍 撮像範囲11×15um |
500倍 |
倍率 赤外:50倍、赤:50倍、
青:100倍 |
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高倍率検出部 Camera |
KP-M3 CCD 1/3 inch |
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★ |
低倍率検出部 |
20倍
撮像範囲290×370um |
|
20倍
撮像範囲290×370um |
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低倍率検出部 Camera |
KP-M1 CCD 2/3 inch |
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位置検出 |
PSD,QPD |
QPD |
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レボルバ |
○ |
- |
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光学Head微動ステージ |
○ |
‐ |
○ |
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Servo機能 |
X,Y,Focus |
オプション |
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X-Y自動ステージ |
○ |
オプション |
- |
オプション |
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調整時間 |
調整5秒以内(装着、脱着含まれず) |
|
|
調整5秒以内
(装着、脱着含まれず) |
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ソフトウェア |
SSM101 |
SSM130 |
SSM150 |
SSM134 |
オプション |
★ |
外形寸法 |
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OS |
Windows XP |
オプション |
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電源 |
AC100V |
‐ |
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■SSMソフトウェア
撮像したビームスポット像を解析し各種計測行い、スキュー調整作業をサポートします。
計測表示と判定
@ビームプロファイル計測結果
高倍率光学系で得られた画像を処理し、プロファイル波形・スポット輝度を表示します。
Aコマ計測結果
高倍率光学系で得られた画像を解析して、1次光の輝度の偏りを方向と量で表します。
スキュー調整作業時に使用する計測です。
Bスポット位置計測結果
ビームスポット像の設定位置からのズレ量をグラフ表示します。
C擬似カラー像
高倍率光学系で得られた画像を疑似カラー表示します。
D3ビームバランス計測結果
中倍率光学系で得られたメインビームとサイドビームのバランス結果をグラフ表示します
グレーティング調整時に使用する計測です。
E総合判定
プロファイル輝度値・コマ計測値・スポット位置・バランス計測値のすべての計測結果から
総合判定を行います。
■オプション
・Alignment用Auto Collimator
・OSP-450のロボットと電装系はその他のOSPシリーズと同様の仕様で提供できます