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傾角調整装置OSPシリーズ

RDP

本装置は、光PickupのACTの傾角調整機であり、特に、空中あおり調整用に開発された装置です。 検出光学系は高倍率と、中倍率(or低倍率を選択)を同時にMonitorすることが可能です。
 高倍率検出系には二値化Unitを装備し、傾角調整を可能にしています。 中倍率光学系は光Pickupにおけるグレーティング調整と、目視による初期のSPOT像位置検出に使用します。 低倍光学系は初期のSPOT像位置検出に使用します。
 SPOT像の位置検出にXY-ServoとFocus-Servoを装備し、傾角調整時の外乱による像の位置ずれを減少させて効率の良い作業を支援します。
 また、XYステージを2基搭載し、接着硬化後のSPOT像評価も可能にしています。 計測Softwareを使用して、SPOT像の傾角調整・グレーティング調整することが可能です。

傾角調整装置OSPシリーズ



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