平行Beam解析装置 Actuator検査装置CCC，ACHシリーズ
平行Beam解析装置は、CCD Cameraに撮像された画像からの光Pickupの対物Lens Holder（Actuator）などに入射する平行光束を利用して、角度計測、平行度、輝度分布、3Beam角度を計測し、各々の有効範囲を設定の上、良否判定を行います。全ての計測状態は同時表示可能です。
Actuator検査装置は、主に２つのシリーズに分かれます。オートチルトメータ(Auto Tilt Meter)は、光Pickup に使用されるActuator がFocus やTrack 方向に駆動したとき、その構造と組立精度により傾きが発生たり、さらに傾きが最終調整に悪影響を与えることになったり、Actuator の対物Lensが移動したとき常に許容範囲内の傾きで維持するための装置です。Actuator組立後に傾き検査が重要な製造工程となることから製品化された装置です。ダイナミックチルトメータ(Dynamic Tilt Meter)は、2軸または3軸(Focus, Track, Tilt)駆動PickupのActuatorに対して所定の正弦波を印加し、その反射Spot光を解析することにより、各軸の振動によるActuator傾角周波数特性、および各軸に与えたDC Offset電圧による周波数特性への影響を調べます。光学系にはLaser Auto Collimatorを用い、信号出力と画像入力処理はComputerと内蔵Boardにより行います。Tilt Coilに関しては、独立型と差動型の双方にSoftware上の切り替えのみで対応します。従ってこれらの違いを意識せず、Focus, Track, Tilt各軸独立にOffset電圧を加えることができます。
平行Beam解析装置CCCシリーズ
■平行Beam解析装置機能
各機能において、有効範囲を設定し、良否判定を行い、すべての計測を同時にMonitorできます。
各機能は10Keyにより容易に切り替えを可能にします。
①Laser Auto-collimator 機能
装置内蔵の光源を用いて基準を設定し、対象となる平行光束の角度を計測することができます。
②平行度計測機能
平行光束の平行度を計測することができます。
Meter表示により、平行度判定が容易です。
③輝度分布計測機能
平行光束の輝度分布（光束外形に対する輝度中心位置）を計測することができます。
Beram ProfileをGaussian-fittingすることにより、光束外形における強度比を計測することができます。
④3Beam 角度計測機能
メインビームとサブビームの光量を計測し、グレーティングの角度を調整することができます。
メーター表示により、グレーティングの角度判定が容易です。
■平行Beam解析装置仕様
光源の波長はお問い合わせください。
| CCC-101 | ||
| 角度計測部（反射検出時） | 角度検出範囲 | 約±60 分以上（計算値） |
| 画素分解能 | 0.25 分（計算値） | |
| Beam平行度計測部 | 検出範囲 | 約±3.5mrad 以上（計算値） |
| 分解能 | 0.02μrad 以下（計算値） | |
| 輝度分布計測部 | 最大Beam径 | φ6.0mm以上 |
| Side Beam除去機能 | 標準0.45deg 以上のSUB Beam除去 | |
| 3beam 角度計測部 | Side Beam出射角度 | 1.0±0.3deg（計算値） |
| Shutter切替Switch | 5ch | |
| Camera・LD 電源Unit | Camera電源 | 5ch |
| 同期回路内蔵 | 有り | |
| APC点灯回路 | 本体内部光源用1ch | |
| 画像処理Unit | OS | Windows XP |
| ソフトウェア | CCC102E *Versionにより数字部変更有り | |
| 電源 | AC100V |
■概略構成図
本体寸法 220D x 310W x 100H
■CCCソフトウェア
①画面基本構成
Collimator
Collimator位置計測画面を表示します。10Key Board「1」でShort Cut選択できます。
Profile
平行度計測画面を表示します。10Key Board「2」でShort Cut選択できます。
3Beam
３Beam Balance計測画面を表示します。10Key Board「3」でShort Cut選択できます。
Intensity
輝度分布計測画面を表示します。10Key Board「4」でShort Cut選択できます。
Total
Collimator/Profile/3Beam/Intensity総合計測画面を表示し、10Key Board「0」でShort Cut選択できます。
Setup
設定画面を表示します。
Average
Data平滑化のON/OFFを設定します。
Save
計測Dataを保存します。10Key Board「7」でShort Cut選択できます。
Data
Data保存先、Serial No.を設定します。
②平行度計測と設定画面
平行度計測・判定に関わる各種設定を行います。
③3Beam計測と設定画面
3Beam計測・判定に関わる各種設定を行います。
④Intensity計測と設定画面
Intensity計測・判定に関わる各種設定を行います。
⑤Total 画面
各計測画像と良否判定を同時に表示します。
⑥Setup 画面
各計測画像の色と平滑化の設定を行います。
Actuator検査装置 Auto Tilt MeterACHシリーズ
■Auto Tilt Meter機能
①傾斜対駆動電流計測機能
・Actuator初期傾斜計測
レンズフォルダ(ボビン)組立時の傾き計測、Actuator基準面と対物レンズ平面部の傾き。
・Focus傾斜計測
指定のFocus駆動電流又は電圧換算した移動量を印可した時の傾き計測。
・Track傾斜計測
指定のTrack駆動電流又は電圧換算した移動量を印可した時の傾き計測。
・Focus及びTrack傾斜自動計測
Parameter設定された印可電流位置での傾きを自動計測。
②傾斜移動量計測機能
・Focus移動時傾斜計測
Focus駆動電流又は電圧換算した移動量を印可位置での移動量と傾斜を計測。
・Track移動時傾斜計測
Track駆動電流又は電圧換算した移動量を印可位置での移動量と傾斜を計測。
・Focus及びTrack移動量自動計測
Parameter設定された移動量での傾斜を自動計測。
■Auto Tilt Meter仕様
| ACH 103/106 | ||
| Laser Auto Collimator *使用する種類は用途により変更可能 |
使用LD | 670nm (DC-601の場合) |
| 焦点距離 | 60mm (DC-601の場合) | |
| 光軸距離 | 168mm (DC-601の場合) | |
| CCD Camera | 2/3 inch KP-M1 | |
| ND Filter Unit | 簡易型Filter 5枚 | |
| ウエッジ基盤 | φ30 30分 | |
| 検出方式 | Edge検出 | |
| 非検物形状条件 | ACT可動範囲が測定方向より観察できる構造 | |
| Focus方向 | 検出範囲 | ±1.5mm |
| 検出分解能 | 0.01mm | |
| Track方向 | 検出範囲 | ±1.5mm |
| 検出分解能 | 0.01mm | |
| Stage | 手動2軸Gonio Stage | |
| 電源 | AC100V～240V | |
| 消費電流 | 300VA以下 | |
| OS | Windows XP | |
| Monitor | 15inch Color | |
■システム構成図
■ソフトウェア
必要な計測ポイントをパラメータセットするだけで、一連の制御をし、計測結果の判定までを自動で行います。
①Main画面
②設定画面
Actuator検査装置 Dynamic Tilt MeterACHシリーズ
■Dynamic Tilt Meter機能
①Actuator傾角振幅周波数特性（5～19000Hz）
Focus, Track, Tilt軸のうち何れかを周波数Scan駆動し、これによるActuator振動の
傾角振幅を測定します。
②Actuator傾角中心周波数特性（5～19000Hz）
Focus, Track, Tilt軸のうち何れかを周波数スキャン駆動し、これによるActuator振動の
傾角中心を測定します。
③DC Offset電圧印加
①,②において、同時に各駆動軸へDC Offset電圧を印加します。
④Free Running
別付外部回路によるActuator駆動で①,②の測定を行います。
⑤指定周波数印加（DC,5～19000Hz）
Focus, Track, Tilt軸のうち何れかを指定周波数で駆動します。
⑥Auto Collimator機能
反射Spotによる傾角を測定します。
■Dynamic Tilt Meter仕様
| ACH-301 | ||
| Laser Auto Collimator | 型式：DC-60など被検物に適合したもの | |
| CCD Camera | 2/3inch | |
| 計測電圧範囲 | ±5V | |
| 電源 | AC100V 信号監視用端子付 | |
| OS | Windows XP | |
| 内蔵Board | D/A Channel | 3ch 分解能16bit |
| D/A相対精度 ±2LSB | ||
| 周波数範囲 | DC 5～19000Hz | |
| DIO | 8bit | |
| Image | 256階調 640x480 Pixel | |
| Software | 画像階調数 | 8bit |
| Sequence | DC最大50Steps | |
| AC最大50Steps | ||
| AC Scan 1000 points | ||
■ソフトウェア
①Operation画面
シーケンス設定・開始・停止、その他の設定操作を行います。
②Image画面
CCD CameraからのRealtime入力画像、Spot体積重心、傾角範囲、Mask範囲を表示します。
③結果表示画面
計測Sequenceに応じて、Realtime計測値をListし、傾角振幅（X,Y方向）・傾角中心（X,Y方向）を
DC Sequence毎に指定した色でPlotします。予め規格範囲を定めて置けば、全Stepを通して規格
内外OK/NG判定を行います。また、Plot画面のみを保存または呼び出すことができます。
下図は周波数特性表示例です。
