干渉計RAI，RDP，RSIシリーズ
外部より入射するLaser光を本体内部で分岐し、一方を基準となるよう波面形成し、もう一方のLaser光と干渉させることで被検Laser光の波面収差を観察計測するものです。
光学系のほか電気回路を一体化した本体と、画像処理用Computerからなり、シンプルに構成されています。主な機能は、 高速な画像処理を使用した波面収差解析及び輝度分布解析です。
In-Line干渉計は、平行Laser光の波面収差を評価するための干渉計Systemです。特に光PICKUP用の生産LineにおいてCollimator出射後の平行Laser光の波面収差の評価や調整に最適なSystemです。
Radial Shearing干渉計RAI，RDPシリーズ
■Radial Shearing干渉計機能
①干渉計測
・位相MAP、波面収差のP-V 値、波面収差のRMS 値
・Seidel's 3次収差係数（AST、COMA、SA）
・Zernikeの多項式展開係数（9、16、25、36 項）
・参照位相MAP 減算機能
・位相MAP 積算機能
②光強度計測
・光強度Profile（X、Y）、1/e2 直径
・光強度2D Gaussian-fitting
・RIM 強度、Encycle Energy
・光強度中心Offset量
③補助機能
・測定Areaの設定
・Data Sampling分解能の設定
・測定Area自動追尾機能
・Alignment用光束傾き検出機能
・10bit Digital映像処理
・RS232Cによる外部制御
・2方向本体設置
収差と干渉縞の見え方について
■WinCOREソフトウェア
ソフトウェアには、以下に示す３種類のModeで計測項目が変わります｡
・Alignment Mode（光軸調整用）
・Intensity Mode（光強度計測用）
・Fringe Mode（干渉計測用）
その他に、各種Parameterの設定画面が用意されています｡
干渉計計測画面
光強度計測画面
In-Line干渉計RSIシリーズ
■In-Line干渉計機能
①Pickup等から射出される光の波面収差を計測
主計測項目：波面収差のP・V及びRMS／POWER(焦点ズレ量)／
三次収差(球面収差量，COMA収差量と方向及び非点収差量と方向)
②Pickup等から射出される光の光強度Balanceを計測
主計測項目：光束径中心の算出，光束内輝度重心位置の算出／
RIM強度比の算出，光強度分布のProfile表示／
光強度のGaussian-fitting Curve算出
③Pickup等から射出される光の位置や傾きを相対的に計測(基準被検物に対して)
主計測項目：干渉計本体に入射する被検光束の傾きを計測
④基準光源を使用して光学部品単品の透過波面収差を計測
主計測項目：①に同じ
■In-Line干渉計仕様
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RSI-101 |
RSI-301 |
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| 測定波長 |
405nm |
660nm |
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| 干渉方式 |
ラジアルシアリング方式 |
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| 干渉縞解析速度 |
約0.5秒（Zernike項数９項時） |
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| 測定光束径 |
φ4.5ｍｍ |
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| WD |
195mm |
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| 入射パワー |
0.2m～2mW |
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| 解析方式 |
フーリエ変換法 |
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| 取り込み用ＣＣＤカメラ |
640×480（ﾋﾟｸｾﾙ） |
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| 表示、演算用CCDカメラ |
320×240（ﾋﾟｸｾﾙ） |
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| XY軸ｽﾃｰｼﾞ |
オプション |
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| αβ軸ｺﾞﾆｵｽﾃｰｼﾞ |
オプション |
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| オートコリメータ(調整用） |
オプション |
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| 干渉計本体寸法(WxDxH) mm |
260×300×80.5 |
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| 重量 |
約50Kg |
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| 測定ソフト |
SIF-C405 |
SIF-C660 |
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| アライメントモード（光軸調整用） |
○ |
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| ビーム解析モード |
○ |
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| 干渉縞解析モード |
○ |
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| スタティックモード |
○ |
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| パソコン |
Windows XP |
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| 電源 |
AC100～240V |
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■SIF-Cソフトウェア
ソフトウェアには、以下に示す３種類のModeがあります｡
・Alignment Mode（光軸調整用）
・Beam解析 Mode
・干渉縞解析 Mode
その他に、各種Parameterの設定画面が用意されています｡
Alignment Mode画面
Beam解析 Mode画面
干渉縞解析 Mode画面
