オプトデバイスコーポレーション株式会社

■Beam解析装置機能

　①NFP計測
　　　高倍率顕微鏡光学系を用いて、各種NFP特性を計測します。
　　　　・基本計測項目のリアルタイム表示
　　　　・Spot像の周波数特性を方位別に計測
　　　　・楕円率の計測＋長軸短軸径の計測と結果表示
　　　　・2D及び3D表示
　　②Intensity計測
　　　入射する光を平行光にし、その強度分布を計測します。
　　　　・基本計測項目のリアルタイム表示
　　　　・Beam ProfileをFittingして光強度の中心位置の検出
　　　　・RIM強度と光強度中心の可視化
　　③Defocus計測
　　　PZTを使用し、焦点を結んだSpot像のDefocus特性を計測します。
　　　　・基本計測項目のリアルタイム表示
　　　　・Spotの楕円方向を自動で検出し長軸、短軸での非点隔差計測
　　　　・Spot像のProfileにおける非点隔差を検出
　　　　・計測の連続画像の保存及び動画として再生
　　　　・連続画像の一部分をNFP計測等の計測で利用可
　　　　・Zernike多項式係数のZ4、Z5、Z6、Z7、Z8の近似値の表示
　　④Camera Control
　　　光量の違う被検物の計測及び光量を変更して計測したい等、CameraのShutter Speedを制御し、
　　　計測します。
　　　　・基本計測項目のリアルタイム表示
　　　　・再生Powerと記録Powerとの比較
　　　　・被検物の型式の違いをHolderの交換で吸収
　　　　・収差の量に依存せず一定の出射Powerで計測
　　　　・強調表示及び複数Patternの擬似Color表示
　　　　・画像の回転・左右反転・上下反転
　　⑤Skew計測
　　　被検物に傾きを与え、各傾きにおけるNFP特性を自動計測します。
　　　　・基本計測項目のリアルタイム表示
　　　　・自動COMA計測及び1次Ringを強調して計測
　　　　・傾きを与えたとき、XY方向のSpot位置変化を自動補正
　　　　・傾きを与えたとき、Z(Focus)方向を自動補正（PZTの範囲内）
　　　　・計測の連続画像の保存及び動画として再生
　　　　・連続画像の一部分をNFP計測等の計測で利用可
　　⑥Encircled Energy計測
　　　一定のAreaやLineに含まれる光量を計測します。
　　　　・基本計測項目のリアルタイム表示
　　　　・Disc信号相当のSizeのMaskがSpotを横切る時の光量変化を計測
　　　　・Spot中心から放射状に積算された光量の変化量を計測
　　　　・Disc信号相当のSizeのMaskに入る光量計測
　　⑦Disk Tilt計測（BSX-501のみ搭載）
　　　Disk相当のDummy Cover Glassに傾き(自動1軸)を与え、各傾きにおけるNFP特性を自動計測します。
　　　　・基本計測項目のリアルタイム表示
　　　　・自動COMA計測及び1次Ringを強調して計測
　　　　・傾きを与えた時におけるXY方向のSpot位置変化の自動補正
　　　　・傾きを与えたときにおけるZ(Focus)方向の自動補正（PZTの範囲内）
　　　　・計測の連続画像の保存及び動画として再生
　　　　・連続画像の一部分をNFP計測等の計測で利用可
　　⑧透過率計測（BSX-501のみ搭載）
　　　被検物を通過した光を反射Coatした特殊Dummy Cover Glassで光を戻し、被検物を2度通過した光の
　　　減衰状態を光Power-Meterで計測します。
　　　　・平行光で反射Dummy Cover Glassからの戻り光量を基準とする計測
　　　　・基準となる被検物からの戻り光量を基準とする計測
　　　　・被検物への入射光量の変動量を監視、及び補正するための入射側光Power-Meterを装備
　　　　・光Power-Meterの自動計算処理
　　⑨Shift計測（BSX-101及び201のみOption対応）
　　　ActuatorをTrack方向、Focus方向に駆動し、NFP計測・Intensity計測を行います。従って、Shift計測では、
　　　変化する現象を捉えるものではなく変化しないことを確認することになります。
　　　　・基本計測項目のリアルタイム表示
　　　　・Actuator駆動を与えたとき、XY方向のSpot位置変化を自動補正
　　　　・Actuator駆動を与えたとき、Ｚ(Focus)方向を自動補正（PZTの範囲内）
　　　　・計測の連続画像の保存及び動画として再生
　　　　・連続画像の一部分をNFP計測等の計測で利用可
　　⑩その他
　　　□全機種共通
　　　　計測結果の収差に最も大きな影響を与える顕微鏡対物Lensを交換せずに擬似Disc（CoverGlass）だけを
　　　　変更させることが可能です。
　　　　・405nm用は専用対物Lensです。
　　　　・装置の校正や基準位置の設定など初期状態で決定するParameterを本体Softwareとは別のSetUp用
　　　　　Softwareとして分離、誤操作による基本Parameter変更を防止します
　　　　・Disc規格の厚さ及び屈折率が違う複数種類のCGを使用しての性能評価も可能です。
　　　□BSX-501固有
　　　　・Dummy Cover Glassに自動傾斜Stageで角度をつけた計測が可能です。但し、傾斜1軸のみ自動で
　　　　　他方の軸は手動となります。
　　　　・被検物ジグを間接加熱する温度調節器を付属します
　　　　・本体光学系の部分にHandy光Power-MeterのSensor部を挿入可能な機構を装備します
　　　□BSX-101固有
　　　　・650nmと780nmは共通の対物Lensで計測可能。
　　　□BSX-201固有
　　　　・650nmと780nmは共通の対物Lensで計測可能。

■Coma調整装置仕様

■BSXソフトウェア

　①NFP特性
　　　高倍率画像を解析し、各種評価を行います。

　②Intensity特性
　　　輝度分布を解析し、各種評価を行います。

　③Defocus特性
　　　PZTを駆動し、Defocus特性を計測します。

　④Skew特性
　　　被検物を傾け、Skew特性を計測します。

　⑤DiskSkew特性
　　　CGを傾け、Skew特性を計測します。
　　⑥Encircled Energy特性
　　　設定したAreaなどの光量から、各種評価を行います。
　　⑦XY位置Search
　　　XY Stageを駆動し、Peakを指定した位置に引き込みます。
　　⑧Focus位置Search
　　　PZTを駆動し、Best Focus位置を検出します。
　　⑨CCD Camera Control
　　　各CCDのShutter Speedなど制御を行います。
　　⑩Stage Contro
　　　各Stageを制御します。
　　⑪透過率計測
　　　被検物をDouble-Pathした光量を計測します。
　　⑫動画保存後、解析処理機能
　　　計測時に保存した動画を読み込みます。

■オプション

　BSX-101
　　　・Cover Glass Unit
　　全機種共通
　　　・Z自動ステージ
　　　・Actuator駆動制御
　　　　被検物のActuatorを駆動するUnitを装備し、Track、Focus方向及びTiltにDC駆動した状態での
　　　　計測評価が可能です。